特許
J-GLOBAL ID:200903069648297969
有機単結晶薄膜の作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-338443
公開番号(公開出願番号):特開平6-186600
出願日: 1992年12月18日
公開日(公表日): 1994年07月08日
要約:
【要約】【目的】 単結晶サイズの大きい有機単結晶薄膜を確実に作製できる溶融固化法を提供すること。【構成】 融点以上の温度で溶融されたCMPメチル(有機物質)12を毛細管現象等の手法により一対の平面基板11の間隙内に充填すると共に、上記間隙内の有機物質12を融点以上の温度から冷却固化して有機単結晶薄膜を作製する方法であって、上記間隙内に有機物質12を充填した後、この間隙の開放縁部をシリコーンゴムから成る接着シール材13により閉塞させた状態で間隙内の有機物質12を冷却固化することを特徴とする。そして、上記接着シール材13の作用により間隙の縁部から冷却固化される有機物質12が昇華・飛散することがなくなるため、単結晶サイズの大きい有機単結晶薄膜を確実に作製することが可能となる。
請求項(抜粋):
融点以上の温度で溶融された有機物質を一対の平面基板の間隙内に充填し、この間隙内の有機物質を融点以上の温度から冷却固化して薄膜を作製する有機単結晶薄膜の作製方法において、上記間隙内に有機物質を充填した後、この間隙の開放縁部をシール材により閉塞させた状態で間隙内の有機物質を冷却固化することを特徴とする有機単結晶薄膜の作製方法。
IPC (4件):
G02F 1/35 504
, C30B 9/04
, C30B 29/54
, G02B 6/12
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