特許

J-GLOBAL ID：200903069657982836

重力効果補償用スプリングを使用したタイプの小型加速度計およびその製造方法

発明者： ジャン・ブラン ,  ステファン・カプレ
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-167489
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051965
出願日： 1998年06月15日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 低コストで製造でき、小型であり、感度の高い加速度計を提供すること。【解決手段】 小型化された加速度計であって、支持体と、重り1と、支持体と重り1との間に位置し、被測定加速度による力の影響によって曲がることができる梁4と、重り1内に誘起された力に基づいて加速度を決定することができる検出手段と、重力によって重り1にもたらされる力を補償するスプリング2と、を具備してなり、支持体、重り1、梁4、および、スプリング2は、同一基板10内に製造された部材であり、機械的張力によってスプリング2を配置するためのスプリングヘッド5およびこのヘッド5の取付手段が設けられ、これにより、重力によって重り1にもたらされる力を補償できるようになっている。

請求項（抜粋）：

小型化された加速度計であって、-支持体と、-測定されるべき加速度によって誘起された力に曝される重りと、-前記支持体と前記重りとの間に位置し、前記力の影響によって曲がることができる機械的連結手段と、-前記重り内に誘起された力に基づいて前記加速度を決定することができる検出手段と、-重力によって前記重りにもたらされる力を補償するとともに、前記重りと前記支持体とを連結するための弾性補償手段と、を具備してなり、前記支持体、前記重り、前記機械的連結手段、および、前記弾性補償手段は、同一基板内に製造された部材であり、機械的張力によって前記弾性補償手段を配置するための調整手段が設けられ、これにより、重力によって前記重りにもたらされる前記力を補償するようになっていることを特徴とする小型加速度計。