特許

J-GLOBAL ID：200903069658869170

表面弾性波素子

発明者： 加藤 充明 ,  谷 俊彦 ,  斎藤 康善
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 桑原 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159198
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321564
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 ガラス基板に対する表面弾性波の伝搬損失の低減を図る。【解決手段】 ガラス基板1に対し脱アルカリ処理をなし、表面のナトリウム含有量を下げ、その上に圧電性膜2を生成する。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に生成された圧電性膜を有し、前記ガラス基板上または前記圧電性膜上に電極を設けて表面弾性波を発生させる表面弾性波素子において、前記ガラス基板に脱アルカリ処理を施したことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (3件)：

H03H 3/08 ,  H01L 41/09 ,  H03H 9/25

FI (3件)：

H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C ,  H01L 41/08 C