特許

J-GLOBAL ID：200903069660857970

ダイシング装置

発明者： 長谷川 俊司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243146
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092769
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】装置内に浸入した冷却用液を感知するとともに、当該冷却用液の除去が容易なダイシングダイシング装置を提供する。【課題】ウェハWを切削して個々のダイに分割するダイシング装置1であって、洗浄および冷却に用いられる冷却用水Cがダイシング装置内部に浸透した場合に当該冷却用液Cの浸透を感知しかつ吸収する液体感知吸収手段21を有するものとした。

請求項（抜粋）：

ウェハを切削して個々のダイに分割するダイシング装置であって、冷却に用いられる冷却用液がダイシング装置の加工領域から装置内部に浸透した場合に当該冷却用液の浸透を感知しかつ吸収する液体感知吸収手段を有するダイシング装置。