クライオスタットにおける極低温冷凍機の接続構造

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：明田莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102478
公開番号（公開出願番号）：特開平9-287838
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】 2段型の極低温冷凍機により断熱真空槽内の2つの冷却部を冷却するクライオスタットにおいて、その冷凍機の取り外し時に、該冷凍機を組み込んだ真空室およびその構成部材を、深冷側の冷却部から熱的に絶縁して熱流入を防ぐことができる極低温冷凍機の接続構造を提供する。【解決手段】断熱真空槽(1) の深冷側となる第2熱シールド(3) に取着する第2冷却フランジ(16)を上下に分割する一方、該断熱真空槽(1) の上部壁(1a)に設けた外側シリンダ(11)内に、冷凍機(6) を組み込む冷凍機真空室(10)を、上部に設けた内側シリンダ(12)を介して気密かつ摺動可能に設し、かつその底部を分割された上部第2冷却フランジ(16a) で構成し、該冷凍機真空室(10)を上方に移動させることで、下底部の上部第2冷却フランジ(16a) を、第2熱シールド(3) と一体の下部フランジ(16b) から分離して熱的に絶縁できる構成とする。

請求項（抜粋）：

それぞれ異なる熱界面をもつ第1および第2冷却部を内部に有する断熱真空槽に、該断熱真空槽の上部壁を気密かつ摺動可能に貫通し、下部に前記第1冷却部に熱的に短絡させた環状の第1冷却フランジを有するシリンダを配設し、更に、このシリンダの第1冷却フランジと前記第2冷却部上に設けた第2冷却フランジとを軸方向に伸縮可能なスリーブで気密に連結して、前記断熱真空槽とは別の真空室を形成すると共に、該真空室に第1および第2冷却ステージを同軸に有する2段型の極低温冷凍機を前記シリンダに対し気密かつ摺動可能として組み込み、この極低温冷凍機の第1および第2冷却ステージを前記第1および第2冷却フランジに密着させて断熱真空槽内の第1および第2冷却部を冷却するクライオスタットにおいて、前記第2冷却部上の第2冷却フランジを上部と下部とに2分割すると共に、前記スリーブを介して第2冷却フランジに連結させた上部第2冷却フランジを、前記第1冷却フランジとの相対距離が増加する方向の変位量を規制する支持材に係合させていることを特徴とするクライオスタットにおける極低温冷凍機の接続構造。

IPC (3件)：

F25B 9/00 , F25D 3/10 , H01F 6/04 ZAA

FI (4件)：

F25B 9/00 H , F25B 9/00 F , F25D 3/10 A , H01F 7/22 ZAA G

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