特許
J-GLOBAL ID：200903069663852731
光ディスク原盤観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152315
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012543
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 露光の完了した光ディスク原盤の露光状態をフォトレジストの現像前に観察する。【構成】 露光済みの光ディスク原盤3に、フォトレジストが感光しないようなパワーまたは波長の光をレーザ源1からの照射光として照射する。この照射光が光ディスク原盤を透過する光量をCCDカメラ6にて検出する。CCDカメラの出力に基づき、光ディスク原盤上に露光されたピットパターンの状態を透過光量の差の分布として観察する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板にフォトレジストを塗布した光ディスク原盤の露光状態を観察するための装置において、前記光ディスク原盤に、前記フォトレジストが感光しないようなパワー又は波長の光を照射光として照射する光照射手段と、前記照射光の光ディスク原盤の透過光量を検出する光検出手段とを有することを特徴とする光ディスク原盤観察装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G03F 7/20
, G11B 7/26
