特許

J-GLOBAL ID：200903069664522816

偏向器およびその偏向器を備えた走査光学系

発明者： 永田 信一
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280233
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110453
出願日： 1993年10月12日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】 面倒れ及びウォブリングがなく、偏向速度が大きく、しかも振動が少ない偏向器を提供する。【構成】 固定ベース22に固定された固定レンズ21に対し光ビームの入射側に可動レンズ23が回転自在に設けられ、モータ27により回転される。この可動レンズ23の第3面23aに入射された光ビームは可動レンズ23の回転角に応じて偏向され、さらに固定レンズ21を介して該回転角に応じた偏向角で偏向器20から出射される。

請求項（抜粋）：

光ビームを偏向させる偏向器であって、固定ベースと、第1,第2面を有し、前記第1面が第1の方向において有限の曲率半径を有する凹円筒面に仕上げられ、その第1面が光ビームの入射側を向いた状態で前記固定ベースに固定された固定レンズと、前記固定レンズの屈折率とほぼ等しい屈折率を有する硝材で形成され、第3,第4面を有し、前記第3面がほぼ平面に仕上げられるとともに、前記第4面が前記第1の方向において前記第1面の曲率半径とほぼ等しい曲率半径を有する凸円筒面に仕上げられ、前記固定レンズに対し光ビームの入射側で、しかも前記固定レンズの光軸から光軸方向および前記第1の方向に対しほぼ直交する第2の方向に伸びる回転軸回りに回転自在な可動レンズと、前記可動レンズを回転する回転手段とを備え、前記可動レンズの前記回転軸が前記第4面の曲率中心近傍を通り、しかも前記第1面の曲率中心近傍に位置するように、前記可動レンズを配置することを特徴とする偏向器。