圧電素子ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001259
公開番号（公開出願番号）：特開2001-193655
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：

【要約】【課題】圧電素子ポンプを流体の絶縁性の有無に関係なく有効に使用すること。【解決手段】圧電素子組体4は、圧電素子ポンプに使用され、圧電素子22により振動板21を振動させて流体の吸入・吐出を行うためのものである。この組体4において、振動板21は絶縁材料より形成され、圧電素子22は振動板21の上面に貼り付けられる。圧電素子22の上下両面には第1の電極膜23及び第2の電極膜が形成される。第2の電極膜は圧電素子22の下面と振動板21の上面との間に隠蔽され、同電極膜の一部のみが端子25として圧電素子22の外側に露出される。端子25は、圧電素子22の上面に折り返され、その端子25と第1の電極膜23との間には、互いの接触を避けるための隙間26が形成される。

請求項（抜粋）：

圧電素子により振動板を振動させて流体の吸入・吐出を行うようにした圧電素子ポンプであって、絶縁材料より形成される振動板と、前記振動板の上面に貼り付けられた板状の圧電素子と、前記圧電素子の上面に形成された第1の電極膜と、前記圧電素子の下面に形成された第2の電極膜と、前記第2の電極膜が前記圧電素子の下面と前記振動板の上面との間に隠蔽され、同電極膜の一部のみが端子として前記圧電素子の外側に露出されたこととを備えたことを特徴とする圧電素子ポンプ。

IPC (4件)：

F04B 43/04 , B06B 1/06 , H01L 41/09 , H02N 2/00

FI (4件)：

F04B 43/04 B , B06B 1/06 Z , H02N 2/00 B , H01L 41/08 U

Fターム (14件)：

3H077AA00 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE40 , 3H077FF36 , 3H077FF42 , 5D107AA10 , 5D107AA14 , 5D107BB06 , 5D107CC02 , 5D107CC05 , 5D107FF06 , 5D107FF08

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-170790
特開昭62-170790
特開昭55-083662

前のページに戻る