特許
J-GLOBAL ID：200903069679392641
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-351347
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179926
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】 基板に弾性体部を作り込み、吐出により発生する液室内の圧力振動を吸収しメニスカスの振動を抑えて、安定したインク吐出を可能にするインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法の提供。【解決手段】 液体吐出用オリフィス、オリフィスに連通するノズル、ノズル内に配され液体に熱エネルギーを付与する電気熱変換体、ノズルに連通し且つノズルに供給する液体を保持する液室、電気熱変換体を備える基板、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法の、基板は結晶軸が、(100)面または(110)面のシリコン基板で、基板上の少なくとも液室部分に有機樹脂層を形成し、基板の有機樹脂層形成面の裏側から基板の液室形成部の一部を異方性エッチングにより除去し、液室に有機樹脂層のメンブレンからなる弾性体部を形成する。
請求項（抜粋）：
液体吐出用のオリフィスと、該オリフィスに連通するノズルと、該ノズル内に配され前記液体に熱エネルギーを付与し該液体中に気泡を形成させる電気熱変換体と、前記ノズルに連通し且つ該ノズルに供給する前記液体を保持する液室と、前記電気熱変換体を備える基板と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記基板は結晶軸が、(100)面または(110)面のシリコン基板であり、該シリコン基板上の少なくとも液室部分に有機樹脂層を形成した後、前記基板の有機樹脂層形成面の裏側から前記基板の液室形成部の一部を異方性エッチングにより除去し、前記液室に有機樹脂層のメンブレンからなる弾性体部を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
