特許
J-GLOBAL ID：200903069679886334
基板支持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-346503
公開番号（公開出願番号）：特開平11-177219
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 塗布剤が塗布された基板を次の工程へ移す際に、その基板を移載機により保持し易くできると共に、その移載機に塗布剤が付着することを防止できるようにする。【解決手段】 プリント基板7を支持するハンガー1に、マスキング部材10を上下動可能に装着する。プリント基板7にフォトレジスト剤14を塗布する際には、マスキング部材10の覆い部12によりプリント基板7の上辺部の一部を覆う状態とする。フォトレジスト剤14の塗布終了後、ハンガー1を矢印A方向へ移動させると、横棒13が上下動ガイド16に案内され、マスキング部材10は上方の退避位置へ移動し、プリント基板7に形成された非塗布部18が露出するようになる。プリント基板7を次の工程へ移す際には、その非塗布部18を移載機により保持するようにする。
請求項（抜粋）：
基板を着脱可能に支持する基板支持具と、覆い部を有してマスキング位置と退避位置との間で移動可能に設けられ、前記基板支持具に支持された基板に塗布剤を塗布する際に、前記マスキング位置へ移動して前記覆い部により前記基板の一部を覆うことにより当該基板に塗布剤が塗布されない非塗布部を形成し、基板に対する塗布剤の塗布終了後、前記退避位置へ移動して前記非塗布部を露出させるマスキング部材とを具備したことを特徴とする基板支持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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