特許

J-GLOBAL ID：200903069680261569

ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計

発明者： 鈴木 健太郎 ,  野呂 誠 ,  原 仁 ,  岸 直輝
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-030823
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221913
出願日： 2000年02月08日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 複数の波長を安定して選択することができるファブリペローフィルタを実現すること。【解決手段】 基板上に設けられた第一ミラーと、この第一ミラーとの間にギャップを有して対向配置され、外力が加えられることにより第一ミラーに対して変位可能に形成される第二ミラーと、この第二ミラーに外力を加えて変位させギャップを可変とした場合に、第二ミラーを静止させ、ギャップの長さを固定可能とする静止手段と、を具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた第一ミラーと、この第一ミラーとの間にギャップを有して対向配置され、外力が加えられることにより前記第一ミラーに対して変位可能に形成された第二ミラーと、この第二ミラーに外力を加えて変位させ前記ギャップの長さを可変とした場合に、前記第二ミラーを静止させ、前記ギャップの長さを固定可能とする静止手段と、を具備したことを特徴とするファブリペローフィルタ。

IPC (5件)：

G02B 5/28 ,  G01J 1/02 ,  G01J 3/42 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/61

FI (5件)：

G02B 5/28 ,  G01J 1/02 C ,  G01J 3/42 U ,  G01N 21/35 Z ,  G01N 21/61

Fターム (27件)：

2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020BA12 ,  2G020CA02 ,  2G020CC27 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC09 ,  2G059EE01 ,  2G059EE11 ,  2G059FF10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ03 ,  2G059KK03 ,  2G059NN03 ,  2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB23 ,  2G065BA01 ,  2G065BB27 ,  2G065CA27 ,  2G065DA08 ,  2H048GA15 ,  2H048GA21 ,  2H048GA25 ,  2H048GA61