特許
J-GLOBAL ID：200903069683352018
テーブル装置およびこれを用いたプラズマ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025202
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223736
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 低圧中においても被処理体を破壊させることなく良好に温度調節可能なテーブル装置およびこれを用いたプラズマ処理装置を提供すること。【解決手段】 チャンバ11内部で処理される被処理体18を温度調節するためのテーブル装置17において、載置面20の形状が凹曲面状に形成されているテーブル本体19と、上記テーブル本体19内部に設けられ、上記載置面20の温度を調節する温度調節手段21と、このテーブル本体19の載置面20側に設けられ、上記被処理体18の端部を介して上記載置面20に上記被処理体18を密着させるように力を加えるクランプ手段26と、を具備したことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
処理室内部で処理される被処理体を載置し温度調節するテーブル装置において、上記被処理体を載置する面の形状が凹曲面状に形成されたテーブル本体と、上記テーブル本体内部に設けられ、上記載置面の温度を調節する温度調節手段と、上記被処理体を密着させるように上記載置面に保持するクランプ手段と、を具備したことを特徴とするテーブル装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/3065
H01L 21/68 N
, H01L 21/302 B
