特許
J-GLOBAL ID:200903069687711861

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-233240
公開番号(公開出願番号):特開平5-072729
出願日: 1991年09月12日
公開日(公表日): 1993年03月26日
要約:
【要約】【構成】 感光性組成物で、キノンジアジド化合物、アルカリ可溶性樹脂、露光によって酸を生成する化合物、及び、p-フェニルアゾジフェニルアミン系化合物を少なくとも含有することを特徴とする。【効果】 本発明の感光性組成物を用いることにより、露光可視画性、および、現像可視画性の優れたポジ型感光性平版印刷版やフォトレジスト等を得ることができる。
請求項(抜粋):
少なくとも(a)キノンジアジド化合物、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)露光によって酸を生成する化合物および(d)p-フェニルアゾジフェニルアミン系化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (3件):
G03F 7/022 ,  G03F 7/004 507 ,  H01L 21/027

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