特許
J-GLOBAL ID：200903069688264230
容量型静電サーボ加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有近 紳志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320860
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178955
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】高精度の発振器を必要とせず,加速度を高感度に検出でき,誤差を低減できる容量型静電サーボ加速度センサを提供する。【構成】加速度Gに比例したパルス振幅変調を行なうPAM回路7を採用し、また、比較器5を構成するオペアンプA3の開放利得と電圧帰還率の積を“1”より充分に大きくする。測定モード期間と力平衡モード期間を交互に繰り返す。測定モード期間では、スイッチφ9をオンし,スイッチφ10をオフし、可動電極11をサーボ拘束せず、スイッチφ11をオフし,スイッチφ8をオンし、加速度Gに応じた検出電圧Vscをサンプルホールドする。力平衡モード期間では、スイッチφ9をオフし,スイッチφ10をオンし、サンプルホールドした検出電圧Vscに基づいて可動電極11をサーボ拘束すると共に、スイッチφ11をオンし、可動電極11を回路グランド電位に短絡する。
請求項（抜粋）：
加速度に応じて変位しうる可動電極およびその可動電極を挟む固定電極を有する容量検出部と、その容量検出部の容量変化を検出電圧に変換するスイッチトキャパシタ回路と、前記検出電圧と所定の基準電圧との差に応じた比較電圧を出力する比較器と、前記比較電圧に応じてパルス振幅変調したサーボ信号を前記容量検出部の固定電極に帰還する帰還回路と、前記検出電圧に基づいて出力信号を生成する出力信号生成回路とを具備し、前記比較器は、オペアンプの反転入力端子に前記検出電圧を入力され,非反転入力端子に前記基準電圧を入力され,前記反転入力端子と出力端子の間に帰還回路を接続されたオペアンプ回路であり、且つ、前記オペアンプの開放利得と電圧帰還率の積が“1”より充分に大きいことを特徴とする容量型静電サーボ加速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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