特許
J-GLOBAL ID:200903069694377209
複数のプロセスコントローラを統合するための方法および装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
鈴木 正剛
, 佐野 良太
, 村松 義人
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-566601
公開番号(公開出願番号):特表2004-531794
出願日: 2001年10月22日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
製造システムを制御するための方法が、複数のツール(120、125)で被加工物を処理し、この複数のツール(120、125)のうちの選択したツール(120、125)についてベースライン制御スクリプト(152、154)を開始し、ベースライン制御スクリプト(152、154)のコンテキスト情報を提供し、コンテキスト情報に基づいてツールのタイプを判定し、選択したツール(120、125)の制御ルーチン群をツールのタイプに基づいて選択し、コンテキスト情報に基づいて制御ルーチン群から必要な制御ルーチンを判定し、必要な制御ルーチンを実行して選択したツール(120、125)のコントロールアクションを生成することを含む。製造システムが、被加工物を処理するように作られた複数のツール(120、125)と、制御実行マネージャ(150)と、コントロールエグゼキュータ(220)とを含む。制御実行マネージャ(150)は、複数のツール(120、125)のうちの選択したツール(120、125)についてベースライン制御スクリプト(152、154)を開始し、ベースライン制御スクリプト(152、154)のコンテキスト情報を提供するように作られている。コントロールエグゼキュータ(220)は、ベースライン制御スクリプト(152、154)を実行し、このコンテキスト情報に基づいてツールのタイプを判定し、選択したツール(120、125)の制御ルーチン群をツールのタイプに基づいて選択し、コンテキスト情報に基づいて制御ルーチン群から必要な制御ルーチンを判定し、必要な制御ルーチンを実行して選択したツール(120、125)のコントロールアクションを生成するように作られている。
請求項(抜粋):
複数のツール(120、125)で被加工物を処理する際に、
前記複数のツール(120、125)のうちの選択したツール(120、125)についてベースライン制御スクリプト(152、154)を開始する処理と、
前記ベースライン制御スクリプト(152、154)のコンテキスト情報を提供する処理と、
前記コンテキスト情報に基づいてツールのタイプを判定する処理と、
前記選択したツール(120、125)の制御ルーチン群をツールのタイプに基づいて選択する処理と、
前記コンテキスト情報に基づいて前記制御ルーチン群から必要な制御ルーチンを判定する処理と、
前記必要な制御ルーチンを実行して前記選択したツール(120、125)のコントロールアクションを生成する処理とを実行する、製造システム(100)を制御するための方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G05B23/02 V
, G05B19/418 Z
Fターム (15件):
3C100AA68
, 3C100BB11
, 3C100BB27
, 3C100CC02
, 3C100CC07
, 3C100EE06
, 5H223AA05
, 5H223BB01
, 5H223CC01
, 5H223CC03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE06
, 5H223EE08
, 5H223EE11
引用特許:
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