特許

J-GLOBAL ID：200903069702711237

光電式エンコーダ

発明者： 夜久 亨
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153911
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002761
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 供給された光を一層効率的に利用することができ、その結果、出力信号の振幅が大きい光電式エンコーダを提供する。【解決手段】 拡散光DLは、インデックススケール13の第1格子14を透過する。このとき、格子素子17の段差によって段差直下では光干渉が生じる。この光干渉が明暗パターンの暗領域を形成する。第2格子15を反射したり第3格子16を通過したりするにあたって、格子素子18、19は光の通過を阻止する。その結果、受光素子12では、メインスケール11の移動時、(格子ピッチP/2)周期の出力信号が得られる。この出力信号に基づいてメインスケール11の移動距離を測定することができる。

請求項（抜粋）：

第1格子ピッチで配列された格子素子を用いて、光源からの光線を任意の明暗パターンで通過させる第1格子と、第2格子ピッチで配列された格子素子を用いて、第1格子を通過してきた光線の通過を遮る第2格子と、第2格子を通過してきた光線の光量を検出する受光素子とを備え、第1および第2格子の相対移動時に生じる明暗の変化に応じて検出された光量に基づいて相対移動の移動距離を測定する光電式エンコーダにおいて、前記第1格子では、前記格子素子が光透過性に形成され、この格子素子に基づく光干渉を利用して前記明暗パターンを生成することを特徴とする光電式エンコーダ。