特許

J-GLOBAL ID：200903069710302354

クリーンルーム用の局所クリーンユニット

発明者： 永津 辰也 ,  持舘 孝彦 ,  馬場 建郎
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010256
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221634
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【構成】 クリーンルーム用のクリーン搬送車30の開口部孔54A、54A...にはカバー54、54...が設けられていて、カバー54はファン46で吸い込まれたクリーンルーム32内のエア47の逆流を防止する。従って、ファン46を介してクリーン度が低下したエアがクリーンルーム32内に流入することを防止し、さらに、クリーンルーム32内のエアが渦流となることを防止する。【効果】 クリーンルーム内のクリーン度を維持すると共に局所クリーンユニット内のクリーン度を維持し、かつクリーンルーム及び局所クリーンユニット内のそれぞれのクリーン度の調和を図る。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム内で局所クリーンユニットが配置されると共に、局所クリーンユニットに設けられた吸込ファンでクリーンルーム内のエアをフィルタを介して局所クリーンユニット内に供給して、局所クリーンユニット内のクリーン度をクリーンルームより高くするクリーンルーム用の局所クリーンユニットにおいて、前記局所クリーンユニットの吸込ファンのエア吸込開口部に逆流防止部材が設けられたことを特徴とするクリーンルーム用の局所クリーンユニット。