特許
J-GLOBAL ID：200903069714734143
アンローダ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143851
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330859
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】洗浄,PR工程の枚葉方式の装置で用いられるエアナイフ乾燥後アンローダ装置に搬入されカセットに納められる工程で発生する静電気による素子の破壊を防止する。【構成】カセット6に挿入される基板1に窒素3を吹きつけコロナ放電を利用し窒素3にイオンを発生させ基板1に吹き付けることにより静電気を除去する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板を搬送するフォークと、前記ガラス基板を収納するカセットとを有するアンローダ装置において、前記カセットの挿入部に窒素を所定純度に調整するフィルタと、該フィルタの出口にコロナ放電により窒素イオンを発生させる針状の金属電極が挿入されたイオンバーとを設けたことを特徴とするアンローダ装置。
IPC (3件)：
C03C 23/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/136 500
