オイルレス差圧センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中香樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-558702
公開番号（公開出願番号）：特表2003-522942
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：

【要約】オイルレス差圧センサを提供する。【解決手段】隔離流体を必要としない二流体間の圧力差測定用圧力センサ(10)が設けられる。圧力センサは外周部を有し、そこにダイヤフラムが結合されるダイヤフラム支持部材(12)を含む。ダイヤフラム(16A,16B)の動きは可動部材(20)の動きである。この動きは加えられた差圧を決定するために感知される。結合部材がウェブによって外周部に接合される。このウェブは外周部材の対向する外向き面から引っ込んでいて、第1及び第2ダイヤフラムがダイヤフラム支持部材の両側に配置される。各ダイヤフラムは外周部及び結合部材に結合される。

請求項（抜粋）：

二つの流体間の圧力差を測定する圧力センサにおいて、外周部を有し、開口が貫通して形成されているダイヤフラム支持部材と、前記支持部材を介して前記開口の一方の側を覆う第1ダイヤフラムと、前記支持部材を介して前記開口の他方の側を覆う第2ダイヤフラムと、前記開口を通って延び、前記第1及び第2ダイヤフラム間に結合された可動部材であって、前記第1及び第2ダイヤフラムに加えられる圧力の差に応答して動く可動部材とを備えた圧力センサ。

Fターム (8件)：

2F055AA40 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF11 , 2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (7件)

静電容量式圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-354982 出願人：山武ハネウエル株式会社
静電容量式圧力検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-045264 出願人：富士電機株式会社
静電容量型センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-022545 出願人：オムロン株式会社

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