特許
J-GLOBAL ID：200903069716423617
表面プラズモン光変調素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025304
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314859
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】 表面プラズモン光変調素子において、大きな変調度と安定した変調動作を得る。【解決手段】 被変調光10がその内部を経て一面11aに全反射角で入射するように配された誘電体ブロック11と、金属膜20と、この金属膜20の上に形成された、光照射によって屈折率が変化する光機能性膜13と、この光機能性膜13に変調駆動光14を照射する駆動光源15とからなる表面プラズモン光変調素子において、金属膜20を銀膜とし、光機能性膜13の上に酸素遮断膜21を形成する。
請求項（抜粋）：
被変調光がその内部を経て一面に全反射角で入射するように配された誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの上に形成された銀膜と、この銀膜の上に形成された、光照射によって屈折率が変化する光機能性膜と、この光機能性膜の上に形成された、変調駆動光を透過させる酸素遮断膜と、前記光機能性膜に変調駆動光を照射する駆動光源とからなる表面プラズモン光変調素子。
IPC (3件)：
G02F 1/061 505
, G02F 1/061 501
, C09B 23/00
G02F 1/061 505
, G02F 1/061 501
, C09B 23/00 L
