特許
J-GLOBAL ID：200903069718134914
枚葉式ウェーハ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-075289
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263400
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 洗浄に要するコストの低減が図れる枚葉式ウェーハ処理装置を提供する。【構成】 ウェーハWの主面に超音波が印加された純水を吹き掛けて当該ウェーハを洗浄する枚葉式ウェーハ洗浄装置4と、この枚葉式ウェーハ洗浄装置によって洗浄されたウェーハを乾燥させる枚葉式ウェーハ乾燥装置6とを備え、前記枚葉式ウェーハ洗浄装置は、前記ウェーハの主面に吹き掛けた純水を回収する純水回収槽と、この純水回収槽に蓄えられた純水を循環させる純水循環系とを有し、前記純水回収槽には、温純水を供給する温純水供給系と、純水と冷却水との熱交換部を当該純水回収槽内に有する純水冷却系とが付設され、前記純水循環系には、純水中に含まれる汚れやパーティクルを捕捉するためのフィルタが付設され、一方、前記ウェーハ乾燥装置6は、洗浄後のウェーハを真空吸着してスピン乾燥させるように構成されている。
請求項（抜粋）：
ウェーハの主面に超音波が印加された純水を吹き掛けて当該ウェーハを洗浄する枚葉式ウェーハ洗浄装置と、この枚葉式ウェーハ洗浄装置によって洗浄されたウェーハを乾燥させる枚葉式ウェーハ乾燥装置とを備え、前記枚葉式ウェーハ洗浄装置は、前記ウェーハの主面に吹き掛けた純水を回収する純水回収槽と、この純水回収槽に蓄えられた純水を循環させる純水循環系とを有し、前記純水回収槽には、温純水を供給する温純水供給系と、純水と冷却水との熱交換部を当該純水回収槽内に有する純水冷却系とが付設され、前記純水循環系には、純水中に含まれる汚れやパーティクルを捕捉するためのフィルタが付設され、一方、前記ウェーハ乾燥装置は、洗浄後のウェーハを真空吸着してスピン乾燥させるように構成されていることを特徴とする枚葉式ウェーハ処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 351
, B08B 3/12
