特許

J-GLOBAL ID：200903069720523618

金属洗浄過程の評価方法並びに評価装置

発明者： 馬飼野 信一 ,  川口 明廣 ,  山崎 龍一 ,  森 修身
出願人/特許権者： 神奈川県
代理人 (1件)： 清水 善▲廣▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049826
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234196
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【構成】 洗浄液中において、洗浄液と異なる導電率の付着物のある金属板を含む2枚の金属板を隙間を存して対向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波交流を流してインピーダンスを測定し、このインピーダンスの値からそれと相関する前記金属板間に残存する付着物の濃度を求め、金属洗浄過程を評価する。前記金属板は隙間への入口を残して絶縁体で囲繞しておくことが好ましい。【効果】 金属の洗浄中に付着物の残留量が連続的に測定できるため、洗浄装置の性能、洗浄剤の能力および洗浄液の老化度合いなどを迅速に判定することができる。また、測定装置を簡単に組み立てることができ、また自動測定も容易なため、誰でも簡単に金属洗浄過程を連続的に評価することができる。

請求項（抜粋）：

洗浄液中において、洗浄液と異なる導電率の付着物のある金属板を含む2枚の金属板を隙間を存して対向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波交流を流してインピーダンスを測定し、このインピーダンスの値からそれと相関する前記金属板間に残存する付着物の濃度を求めることを特徴とする金属洗浄過程の評価方法。