特許

J-GLOBAL ID：200903069724522764

圧力センサ

発明者： ヘンリク ヤコブセン
出願人/特許権者： センソノール エイエスエイ
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-124916
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132947
出願日： 2003年04月30日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】丈夫で信頼できる圧力測定用の容量式シリコンセンサを提供する。【解決手段】電極121を有するガラス製のプレート120と、半導体材料から形成されており、前記ガラス基板120に接着されており、少なくとも電極121の一部を含んでいる空隙115を形作り、それ故に容量式要素を形作り、それを通して、使用に際しては、決定される圧力を示すための静電容量を決定するために電気的信号が通過する隔膜103とかなる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

電極が表面に形成されたガラスプレートと、 半導体材料から形成されており、前記ガラス基板に接着されており、少なくとも電極の一部を含んでいる囲まれた空隙を形作り、それ故に容量式要素を形作り、それを通して、使用に際しては、決定された圧力を示すための静電容量を決定するために電気的信号が通過する、隔膜と、からなる容量式圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L9/00 ,  H01L29/84

FI (2件)：

G01L9/00 305A ,  H01L29/84 Z

Fターム (22件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG15 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA06 ,  4M112CA13 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA07 ,  4M112DA10 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA03 ,  4M112FA07