特許

J-GLOBAL ID：200903069729262035

ガラス基板洗浄装置

発明者： 森 俊介 ,  関根 元美
出願人/特許権者： 株式会社サムコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-296372
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【目的】 ガラス基板を搬送する為の搬送ローラーを駆動する駆動系と、ガラス基板を洗浄する範囲(洗浄部)との間に密閉用の仕切板を設けることにより、駆動系収納部と洗浄部とを完全に仕切る構造にし、洗浄後の排水を再利用する際に、駆動系から発生する粉塵、特に駆動ギヤが噛み合うことによって発生する摩耗塵を前記排水に混入することがない、ガラス基板洗浄装置の提供を目的とするものである。【構成】 ガラス基板を搬送する為の搬送ローラーを駆動する駆動系と、ガラス基板を洗浄する範囲(洗浄部)との間に密閉用の仕切板を設け、駆動系収納部と洗浄部とを完全に仕切る構造。

請求項（抜粋）：

ガラス基板を搬送するための駆動系を収納する駆動系収納部と前記ガラス基板を洗浄するための洗浄部とを防水仕切板で仕切ったことを特徴とするガラス基板洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/02 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/1333 500

FI (3件)：

B08B 3/02 C ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (16件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  3B201AA02 ,  3B201AB16 ,  3B201BA02 ,  3B201BA15 ,  3B201BB24 ,  3B201BB92 ,  3B201CB25 ,  3B201CD22 ,  3B201CD33