特許
J-GLOBAL ID：200903069745867001
プラスチック容器とそのためのパッケージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166331
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046021
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】ウェハーをその塵や湿気、あるいは他の汚染物質による汚染を最小限として貯蔵及び輸送できる容器と、この容器のためのパッケージの提供。【構成】プラスチック容器15のウェハーキャリヤ16はほぼ剛性で透明な材料からなる。容器15の上部カバー17及び底部カバー18は、ほぼ剛性ではあるが弾性的に屈曲可能である。ウェハーキャリヤ16の上側及び下側のリム部は、上部カバー17及び底部カバー18のリム部に取り囲まれている。上部カバー17及び底部カバー18のパネルはウェハーの端部を、パネル表面から離間した状態に維持する。上部カバー17及び底部カバー18はその一部を曲げながらウェハーキャリヤ16から持ち上げて外すことができる。パッケージは容器15のコンパートメントを備えた多数のカバートレイを有している。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハーを貯蔵し輸送するためのプラスチック容器であって、ウェハーキャリヤと底部カバーと上部カバーとを有し、前記ウェハーキャリヤは、ウェハー支持用の偏位部とウェハー分離用のリブとを備えた側壁と、該側壁を相互に連結する第1及び第2の端壁とを有し、前記側壁と端壁がウェハーキャリヤの上部開口部を形成する上端部を有していてウェハーの充填や取り出しが可能になっており、また前記側壁と端壁が当該ウェハーキャリヤの底部開口部を形成する下端部も有していて前記ウェハーキャリヤ内のウェハーへアクセスできるようになっており、前記上端部が張出し状の上側リム部を有しており、前記底部カバーはウェハーキャリヤの底部開口部に取り外し可能に設置され、前記下端部に当接して底部開口部を閉じており、前記上部カバーは前記ウェハーキャリヤの上部開口部に取り外し可能に設置され、前記ウェハーキャリヤの前記上端部へ当接して上部開口部を閉じるとともにウェハーを保持し、また前記上部カバーは張出し状の上部カバーリム部を有し、この上部カバーリム部が前記ウェハーキャリヤの上側のリム部と嵌合してこれを取り囲み、上部カバーをウェハーキャリヤに対し取り外し可能に保持するプラスチック容器。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
