観察物体の物理量を検出するための方法およびこれを用いた検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-285256
公開番号（公開出願番号）：特開2001-159736
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】干渉光学系や微分干渉光学系を使って、観察物体の位相を正確に測定するための検出方法及び検出装置を提供する。【解決手段】微分干渉光学系では、リターデーション量が等しく符号の異なる観察物体の画像情報を2つ取得し、該画像から差画像情報D(x,y)及び和画像情報S(x,y)を取得する。一方、干渉光学系では、縞走査方法等により位相分布を画像化した画像情報H(x,y)及び、強度分布を画像化した情報J(x,y)を取得する。そして、和画像情報S(x,y)や強度分布情報J(x,y)に対して平均化、極大値の包落値算出、低周波成分抽出などの加工を施した後、加工した画像情報、微分干渉光学系の光学的応答特性、及び差画像情報D(x,y)や位相分布情報H(x,y)を使って、観察物体の正確な位相情報を算出する。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源からの光を観察物体に導く照明光学系と、観察物体の像を形成するための結像光学系と、該光源からの光を2つの偏光成分に分離するための偏光部材を少なくとも一つ有する顕微鏡光学系と、前記2つの偏光成分のリターデーション量を変化させる調整部材と、観察物体の微分干渉像を撮像する撮像部材とを備え、リターデーション量が等しく符号が異なる前記観察物体の2つの微分干渉像を撮像する過程を備えた光学装置において、該2つの微分干渉像の画像において夫々の対応する画素毎に差演算及び和演算を行い差画像情報及び和画像情報を取得する演算過程と、前記リターデーション量をθ、前記差画像情報をD(x,y)、前記和画像情報をS(x,y)、前記各画像情報に対応する観察物体面上の位相量をΦ(x,y)、前記差画像情報D(x,y)を前記顕微鏡光学系の光学的応答特性を用いてデコンボリューションした画像情報をd(x,y)、前記和画像情報S(x,y)の平均値をαとするとき、以下の式のいずれかを用いて観察物体面上の位相量をΦ(x,y)を検出する演算過程を有する演算装置を備えていることを特徴とする光学装置。Φ(x,y)=k・{(1-cosθ)・d(x,y)/α}/{sinθ・[1-{d(x,y)/α}2 /2]}Φ(x,y)=k・tan-1[{(1-cosθ)・d(x,y)/α}/{sinθ・[1-{d(x,y)/α}2 /2]}]ここで、k=λ/4π、λは波長である。

IPC (4件)：

G02B 21/36 , G01B 9/00 , G01B 11/00 , G02B 21/00

FI (4件)：

G02B 21/36 , G01B 9/00 , G01B 11/00 G , G02B 21/00

Fターム (19件)：

2F065AA25 , 2F065BB05 , 2F065DD03 , 2F065FF42 , 2F065FF51 , 2F065GG01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL30 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065PP24 , 2F065QQ13 , 2F065QQ28 , 2H052AA05 , 2H052AF14 , 2H052AF25

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