塗布ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白井博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167020
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010047
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】コーティングむらを低減させる。【解決手段】塗布液貯留部3と、塗布液貯留部3の底壁3aに列状に密接して固定された多数の毛細管5aとを備えた構成。なお、毛細管5aを複数列に配設するようにしてもよい。

請求項（抜粋）：

塗布液貯留部と、該塗布液貯留部の底壁に列状に密接して固定された多数の毛細管とを備えたことを特徴とする塗布ヘッド。

IPC (3件)：

B05C 5/00 , B05C 11/10 , B05D 1/26

FI (3件)：

B05C 5/00 Z , B05C 11/10 , B05D 1/26 Z

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