特許

J-GLOBAL ID：200903069757456236

スケール付着防止膜付き部材とその製造方法

発明者： 北川 直明 ,  安東 勲雄 ,  岡部 信一
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-171597
公開番号（公開出願番号）：特開2002-363731
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、長時間に渡り、高温高圧水中で部材表面にスケールが付着せず、厳しい寸法精度が要求される部品や複雑形状部品にも適用でき、しかも後加工が容易で比較的低コストで得られる、高温高圧水用部品およびその製造方法の提供を課題とする。【解決手段】 高温高圧水用部品用基材を熱電子方式イオンプレーティング装置内の所定位置に設置し、ターゲットとしてクロムを用い、クロムを熱電子方式イオンプレーティング装置で蒸発させ、少なくとも成膜時に純度99.0%以上の酸素を、真空度が5×10-5〜1×10-3Torrの範囲となるように導入し、蒸発したクロム粒子と酸素を反応させ、基材上に、酸化クロム膜を膜厚2〜20μmの範囲で形成する。

請求項（抜粋）：

高温高圧水中で用いられる部品であって、その表面に厚さ2〜20μmの酸化クロム膜を有するものであり、該酸化クロム膜が、クロムを熱電子方式イオンプレーティング装置で蒸発させ、少なくとも成膜時に純度99.0%以上の酸素を、真空度が5×10-5〜1×10-3Torrの範囲となるように導入しつつ成膜したものであることを特徴とする高温高圧水用部品。

Fターム (11件)：

4K029AA02 ,  4K029BA43 ,  4K029BC01 ,  4K029BD03 ,  4K029CA04 ,  4K029DB03 ,  4K029DD04 ,  4K029EA01 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  4K029FA04