特許
J-GLOBAL ID：200903069757720545
セラミックスヒーター
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317049
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163156
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 早急な被加熱体の昇温が行えるとともに良好な均熱性を達成することができるセラミックスヒーターを提供する。【構成】 セラミックス基体1中に抵抗発熱体2を埋設してなり、被加熱体を載置して加熱するセラミックスヒーターにおいて、抵抗発熱体2に電流を流すことによりヒーター自体を加熱して被加熱体を加熱する抵抗発熱手段と、被加熱体に渦電流を発生させて被加熱体を加熱する渦電流発生手段とから構成する。
請求項（抜粋）：
セラミックス基体中に抵抗発熱体を埋設してなり、被加熱体を載置して加熱するセラミックスヒーターにおいて、抵抗発熱体に電流を流すことによりヒーター自体を加熱して被加熱体を加熱する抵抗発熱手段と、被加熱体に渦電流を発生させて被加熱体を加熱する渦電流発生手段とからなることを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (5件)：
H05B 11/00
, H01L 21/205
, H05B 3/14
, H05B 3/18
, H05B 3/20 338
