特許

J-GLOBAL ID：200903069764869007

位置決め装置およびデバイス製造方法

発明者： 瀧澤 直樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132966
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308435
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 ステージの重量変動による悪影響を、装置を大きくすることなく排除する。【解決手段】 重力方向に移動可能に案内されたステージ9と、前記ステージの重力とは逆方向で同等の推力を前記ステージに付与する重力バランス手段7a〜7dと、前記ステージの重力方向の位置決めをフィードバック制御により行う位置決め制御手段5a〜5dとを備えた位置決め装置において、前記重力バランス手段は、前記ステージに搭載される物体により増減する前記ステージの重量に応じて前記推力を調整するものである。

請求項（抜粋）：

重力方向に移動可能に案内されたステージと、前記ステージの重力とは逆方向で同等の推力を前記ステージに付与する重力バランス手段と、前記ステージの重力方向の位置決めをフィードバック制御により行う位置決め制御手段とを備えた位置決め装置において、前記重力バランス手段は、前記ステージに搭載される物体により増減する前記ステージの重量に応じて前記推力を調整するものであることを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 1/30 ,  B23Q 5/22 520

FI (3件)：

H01L 21/68 K ,  B23Q 1/30 ,  B23Q 5/22 520 D