ポリイミド膜及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：西川繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-246658
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064416
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】ポリイミド膜と金属層との密着性に優れ、高温での熱履歴を受けても密着性の低下がなく、かつ、ポリイミド膜自体の機械的特性が改善されたポリイミド膜、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】ポリイミド前駆体膜を加熱処理してポリイミド膜を製造する方法において、(1) 第一段目の加熱処理により、ポリイミド前駆体のイミド化率を85〜99.9%の範囲に制御し、(2) イミド化率がこの範囲にあるときに、ポリイミド前駆体膜を塩基性化合物と接触させ、しかる後、(3) 第二段目の加熱処理により、イミド化率を実質的に100%にまで上昇させることを特徴とするポリイミド膜の製造方法。ポリイミド膜の形成後、その上に形成した金属層のクロスカット試験による剥離率(a)が20%以下で、かつ、350°Cで2時間の熱ショック試験後の金属層の剥離率(b)が前記剥離率(a)よりも小さいポリイミド膜。

請求項（抜粋）：

ポリイミド前駆体膜を加熱処理してポリイミド膜を製造する方法において、(1) 第一段目の加熱処理により、ポリイミド前駆体のイミド化率を85〜99.9%の範囲に制御し、(2) イミド化率がこの範囲にあるときに、ポリイミド前駆体膜を塩基性化合物と接触させ、しかる後、(3) 第二段目の加熱処理により、イミド化率を実質的に100%にまで上昇させることを特徴とするポリイミド膜の製造方法。

IPC (6件)：

C08J 5/18 CFG , C08J 7/00 CFG , C08J 7/00 301 , C08J 7/12 CFG , H01L 21/312 , C08L 79:08

FI (5件)：

C08J 5/18 CFG , C08J 7/00 CFG , C08J 7/00 301 , C08J 7/12 CFG B , H01L 21/312 B

Fターム (19件)：

4F071AA60 , 4F071AC12 , 4F071AH13 , 4F071BA02 , 4F071BB02 , 4F071BC01 , 4F071BC02 , 4F073AA01 , 4F073AA32 , 4F073BA31 , 4F073BB01 , 4F073GA01 , 4F073HA15 , 5F058AA08 , 5F058AC02 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058AH03

前のページに戻る