特許

J-GLOBAL ID：200903069768259580

マルチチャンバシステム

発明者： 石川 勝彦 ,  伊藤 雅樹 ,  伊藤 秀文
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293573
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153680
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】 PQC検査を行うPQC用ウエハに定期的にPQC処理を自動で施す。【構成】 ロードロックチャンバ5から取り出された半導体ウエハが予め設定された処理枚数であるn枚目とカウントされると、PQC用ウエハ制御部は全体制御部にPQC検査を行うためのPQC処理を開始する制御信号を出力し、PQC用ウエハ送り出しチャンバ6からPQC用ウエハを取り出し、所定のPQC処理を自動的に行う。PQC処理が終了すると、PQC用ウエハをPQC用ウエハ取り出しチャンバ15に搬送し、PQC用ウエハ取り出しチャンバ15から取り出されてPQC検査を行う。

請求項（抜粋）：

個々の異なるプロセスを一貫して処理するマルチチャンバシステムであって、プロセスの品質管理における検査を行うPQC用ウエハを取り出す第1のチャンバと、前記PQC用ウエハを取り入れる第2のチャンバと、前記PQC用ウエハが前記第1のチャンバから取り出されるタイミング、前記PQC用ウエハが前記第2のチャンバに取り込まれるタイミングおよび前記PQC用ウエハにおける所定のPQC処理の制御を司る制御手段とを設け、前記制御手段が、所定のインターバルをおいて自動的に前記第1のチャンバから前記PQC用ウエハを送り出し、所定のPQC処理を行った後に前記PQC用ウエハを前記第2のチャンバに取り込むことを特徴とするマルチチャンバシステム。

IPC (6件)：

H01L 21/203 ,  F27B 9/02 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/324

FI (2件)：

H01L 21/30 569 D ,  H01L 21/302 Z