特許
J-GLOBAL ID:200903069768956079

感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-160900
公開番号(公開出願番号):特開平9-325486
出願日: 1996年05月31日
公開日(公表日): 1997年12月16日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 密着性、テント膜強度及び剥離性に非常に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルムレジスト用積層体を提供する。【解決手段】 特定の化合物と例えば下式の化合物α,β-不飽和カルボキシル基含有モノマーを必須の共重合成分とするバインダーポリマーと、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマーと、光重合開始剤を主成分とする感光性樹脂組成物。(式中、R1は水素又はメチル基で、R2、R3は水素、メチル基、又はエチル基で、Xはフェニル基又はアルキル基で置換されたフェニル基で、Yはフェニル基板又はアルキル基で置換されたフェニル基で、nは1〜3の整数、mは1〜12の整数である。)
請求項(抜粋):
下記化1で示される化合物(a-1)とα,β-不飽和カルボキシル基含有モノマー(a-2)を必須の共重合成分とするバインダーポリマー(A)と、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー(B)と、光重合開始剤(C)を主成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1は水素又はメチル基で、R2、R3は水素、メチル基、又はエチル基で、Xはフェニル基又はアルキル基で置換されたフェニル基で、Yはフェニル基板又はアルキル基で置換されたフェニル基で、nは1〜3の整数、mは1〜12の整数である。)
IPC (7件):
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (8件):
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D

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