屈折率測定方法及び測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田治米登 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-113989
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285769
出願日： 1995年04月15日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】皮膚のように種々の構成物質からなり、表面が平坦でない物質の屈折率を非破壊でありのままの状態で測定できるようにする。【構成】試料表面に異なる投光角αで複数回投光し、その投光角ごとの反射光を複数の異なる受光角βで受光することにより、投光角αと受光角βとの和の1/2の角度θ(=(α+β)/2)及び試料表面を構成する微小素面の方位角φの関数として反射強度R(θ,φ)を求め、かつ微小素面の角度分布G(φ)を求め、さらに次式【数1】R(θ,φ)=F(θ)・G(φ)に基づいて試料が平坦な場合の反射率F(θ)を求め、この反射率F(θ)と投光角θとの関係をフレネルの式【数2】にフィッティングさせ、試料の屈折率nを求める。

請求項（抜粋）：

試料表面に異なる投光角αで複数回投光し、その投光角αごとの反射光を複数の異なる受光角βでそれぞれ受光することにより、投光角αと受光角βとの和の1/2の角度θ(=(α+β)/2)及び試料表面を構成する微小素面の方位角φの関数としての反射強度R(θ,φ)を求め、かつ微小素面のうち方位角φを有するものの割合に比例した反射強度として形状分布関数G(φ)を求め、次式【数1】R(θ,φ)=F(θ)・G(φ)に基づいて試料の反射率F(θ)を求め、この反射率F(θ)とフレネルの式【数2】に基づいて、試料の屈折率nを求めることを特徴とする屈折率測定方法。

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