特許
J-GLOBAL ID：200903069771603217
質量流量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339652
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159215
出願日： 1993年12月04日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 長期間使用しても信頼性が低下せず、しかも、大量生産が可能である質量流量センサを提供すること。【構成】 流体Fが流れる流路22を形成したガラス基板21に、前記流路22に接するようにしてシリコン基板23を接合し、このシリコン基板23の流路側に面しない表面に、流量検出用のヒータ25,26を形成している。
請求項（抜粋）：
流体が流れる流路を形成したガラス基板に、前記流路に接するようにしてシリコン基板を接合し、このシリコン基板の流路側に面しない表面に、流体流量検出用のヒータを形成したことを特徴とする質量流量センサ。
IPC (2件)：
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