固体撮像素子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116622
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308300
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】隣接するマイクロレンズが融着せず、マイクロレンズ間の距離(スペース)が小さな、且つ所望する曲率に近づけた、開口率の高いマイクロレンズを有する固体撮像素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】受光部2が配列された半導体基板1と、受光部平坦化層4と、カラーフィルタ5と、カラーフィルタ平坦化層7と、集光用のマイクロレンズ12とを備える固体撮像素子において、該マイクロレンズ間の受光部平坦化層上にフッ素系シラン化合物層又はフッ化物重合体層11を備えること。

請求項（抜粋）：

複数の受光部が配列され、受光部で生成した電荷を転送・出力する転送レジスタを備える半導体基板と、該受光部の表面を平坦化する受光部平坦化層と、受光部平坦化層上に形成されるカラーフィルタと、カラーフィルタ上に形成されるカラーフィルタ平坦化層と、カラーフィルタ平坦化層上に形成される集光用のマイクロレンズとを備える固体撮像素子において、該マイクロレンズ間の受光部平坦化層上にフッ素系シラン化合物層を備えることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (7件)：

H01L 27/14 , C08L 27/12 , G02B 3/00 , G02B 5/20 101 , H01L 31/02 , H04N 5/335 , H04N 9/07

FI (7件)：

C08L 27/12 , G02B 3/00 A , G02B 5/20 101 , H04N 5/335 V , H04N 9/07 A , H01L 27/14 D , H01L 31/02 A

Fターム (39件)：

2H048BB02 , 2H048BB08 , 2H048BB10 , 2H048BB28 , 2H048BB47 , 4J002BD131 , 4J002CP081 , 4J002CP091 , 4J002CP101 , 4J002GQ00 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118CA40 , 4M118EA01 , 4M118FA06 , 4M118FA08 , 4M118GB07 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024EX43 , 5C024EX52 , 5C065BB42 , 5C065CC01 , 5C065DD01 , 5C065EE10 , 5C065EE11 , 5F088AA01 , 5F088AB03 , 5F088BA05 , 5F088BA07 , 5F088BB03 , 5F088EA02 , 5F088EA06 , 5F088GA04 , 5F088JA12 , 5F088JA13

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-262601
特開平3-183165
レンズおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-167316 出願人：大日本印刷株式会社

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