特許

J-GLOBAL ID：200903069774978009

処理装置の設置方法

発明者： 藤田 雅人 ,  光井 章
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073669
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267195
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 被加工物の大口径化や加工の微細化や多層配線化による処理装置の台数増大に対して、スペース効率を向上することによりクリーンルームの建設コストやランニングコストの増大を抑制する。【解決手段】 クリーンルーム内で一連の加工処理を行う複数の処理装置A、Bや、I、Jを積み上げて立体的に配置し、複数の処理装置A〜K間を水平方向及び上下方向に移動し、被加工物を複数の処理装置A〜Kのそれぞれに移載するキャリアストッカ1やOHTなどの移載手段を、複数の処理装置A〜K間を結んで設置することにより、クリーンルームの床面積増加を抑制する。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム内で一連の加工処理を行う複数の処理装置を立体的に配置することを特徴とする処理装置の設置方法。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  B65G 49/07 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/02 Z ,  B65G 49/07 C ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/68 A

Fターム (12件)：

3L058BF07 ,  3L058BF08 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031GA58 ,  5F031MA02 ,  5F031MA06 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA02