特許

J-GLOBAL ID：200903069776192860

被処理体近傍空間の気流の制御方法及び減圧装置

発明者： 小美野 光明
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045100
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230959
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 搬送アームなどの搬送手段をその内部に備えた真空予備室内での気流を制御して、パーティクルの巻き上げ等を防止し、搬送手段上の平板状の被処理体のコンタミネーションを防止する。【構成】 被処理体であるウエハWを保持する搬送アーム61の保持部62に、気流吹出し口65を設け、この気流吹出し口65から吹き出される気流によって、ウエハW上に層流Lを形成する。層流LはウエハW上のパーティクルを吹き落とし、またエア・バリアとなって他のパーティクルの飛来、付着を防止する。

請求項（抜粋）：

略平板状の被処理体の近傍空間の気流を制御する方法であって、前記被処理体の一端部近傍に配置した気流吹出し口から、対向する他端部に向けて、この被処理体に沿って平行な層流を被処理体の上面に形成させることを特徴とする、被処理体近傍空間の気流の制御方法。

IPC (5件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/56 ,  C30B 25/14 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/302 P ,  H01L 21/31 B