特許

J-GLOBAL ID：200903069776248970

一次元検出器

発明者： 渋谷 眞人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243135
公開番号（公開出願番号）：特開平10-093764
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 広い強度範囲の信号の検出を、全範囲にわたって分解能を低下させることなく行うことができるような構成の一次元検出器を得る。【解決手段】 幅方向に直線状に延びる検出部10を有し、幅方向に直角な方向の走査を行って検出対象の二次元検出を行うように一次元検出器が構成される。検出部10においては、複数の同一感度の検出素子11もしくは13を直線状に一列に並べて検出素子列12,14を構成し、これら検出素子列12,14を幅方向に延びて並列に配設して検出部10を構成している。この検出素子列12,14を構成する検出素子11,13の感度は列によって相違し、検出部10は少なくとも2種類以上の検出素子列12,14から構成される。

請求項（抜粋）：

幅方向に直線状に延びる検出部を有し、幅方向に直角な方向の走査を行って検出対象の二次元検出を行う一次元検出器において、複数の同一感度の検出素子を直線状に一列に並べて検出素子列を構成し、複数の検出素子列を幅方向に延びて並列に配設して前記検出部を構成しており、前記検出素子列を構成する前記検出素子の感度が列によって相違し、前記検出部が少なくとも2種類以上の前記検出素子列から構成されることを特徴とする一次元検出器。

IPC (5件)：

H04N 1/028 ,  H01L 27/148 ,  H04N 1/04 ,  H04N 1/19 ,  H04N 5/335

FI (7件)：

H04N 1/028 Z ,  H04N 1/028 C ,  H04N 5/335 Q ,  H04N 5/335 F ,  H01L 27/14 B ,  H04N 1/04 D ,  H04N 1/04 102