特許

J-GLOBAL ID：200903069778044523

画像欠陥検出装置

発明者： 日比 博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-182844
公開番号（公開出願番号）：特開平7-038811
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 点欠陥検出時の画面の複数分割での領域境界近傍の点欠陥にドラスチックな合否判定を生じさせない様に人間の感覚に近い合否判定によって点欠陥を検出する。【構成】 測定部2でセンサの欠陥位置と欠陥レベルを検出し、この欠陥位置と欠陥レベルを欠陥用メモリ5に格納し、制御部6は欠陥用メモリ5から読み出した測定された欠陥データをメンバーシップ関数用メモリ8に収納した欠陥位置及び欠陥レベルに対するメンバーシップ関数によって画面をみたときの点欠陥が気になる度合いの複数のグレードを出力し、このグレードの数に基づいて画面を構成するセンサデバイスの合格或は不合格を決定する。

請求項（抜粋）：

センサの欠陥位置を測定する測定部と、前記測定部の欠陥位置、欠陥レベルデータを記憶する欠陥データ記憶部と、欠陥の中心からの距離に反比例し、欠陥レベルに比例するメンバーシップ関数記憶部と、前記欠陥データ記憶部から欠陥位置、欠陥レベルデータを読み出すと共に前記メンバーシップ関数記憶部のメンバーシップ関数により前記読み出された欠陥位置、欠陥レベルデータに応じた所定のグレードを算出する制御部と、前記グレードに応じた欠陥数を判定する判定手段からなることを特徴とする画像欠陥検出装置。