特許
J-GLOBAL ID：200903069781338562
三弗化窒素ガスの深冷蒸留装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121131
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330317
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【目的】 粗三弗化窒素(NF3 )ガガス中に不純物として含有する二弗化二窒素及び二酸化炭素を予め除去した粗NF3 ガス中の、該ガスよりも沸点の低いN2 やO2 に対して分離効率がよく、高純度NF3 ガスを得る事ができるコンパクトな深冷蒸留装置を提供することにある。【構成】 粗NF3 ガス中に不純物として含有する二弗化二窒素及び二酸化炭素を予め除去した粗NF3 ガスの供給装置(12)、供給される原料ガスを冷却液化する為の液化ガス供給装置(13,14)、保冷及び加熱する為の極低温槽(1,2)、該極低温槽内に設置した蒸留塔及び留出液の受器(6)を備えたことを特徴とする三弗化窒素ガスの深冷蒸留装置。
請求項（抜粋）：
粗三弗化窒素ガス中に不純物として含有する二弗化二窒素及び二酸化炭素を予め除去した粗三弗化窒素ガスの供給装置、供給される原料ガスを冷却液化する為の液化ガス供給装置、保冷及び加熱する為の極低温槽、該極低温槽内に設置した蒸留塔及び留出液の受器を備えたことを特徴とする三弗化窒素ガスの深冷蒸留装置。
IPC (2件)：
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