特許
J-GLOBAL ID：200903069781348991
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341792
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186662
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 非画像部と画像部のディスクリミネーションが向上し、高感度と高解像力と良好なプロファイルとを有し、更に露光後加熱処理までの経時によるレジストパターンの細りが生じないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 (a)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(b)含水量1.7%以下であるフェノール性樹脂を原料として、該樹脂のフェノール性水酸基を、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基で保護された樹脂を含有するポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(a)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(b)含水量1.7%以下であるフェノール性樹脂を原料として、該樹脂のフェノール性水酸基を、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基で保護された樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
