特許

J-GLOBAL ID：200903069785994570

アクテイブ除振装置

発明者： 村井 信義 ,  今沢 民雄 ,  高橋 良典 ,  吉岡 宏和 ,  藤田 隆史 ,  渋谷 貞雄 ,  早津 昌樹 ,  竹下 章治 ,  早川 太平 ,  安田 正志
出願人/特許権者： 株式会社竹中工務店 ,  藤田 隆史 ,  日立プラント建設株式会社 ,  株式会社日立建設設計 ,  特許機器株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-342027
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149379
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 組み付け時における位置ズレを吸収できながら、微振動に対しても良好に制御できるアクティブ除振装置を提供する。【構成】 積層形ピエゾ素子10の駆動方向の端面に、金属板13と肉厚の小さい薄肉弾性体14とから成る剪断力吸収部材15を三層以上介装して構成したピエゾアクチュエータ5Zを、下部架台と機器搭載台との間に三次元方向それぞれに駆動可能に設け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動センサを設けるとともに、その振動センサで検出される振動に基づいて、その振動を打ち消す駆動信号をピエゾアクチュエータ5Zに出力する制御装置を設ける。

請求項（抜粋）：

下部架台に、三次元方向それぞれに駆動可能なピエゾアクチュエータを介して機器搭載台を設け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動センサを設けるとともに、その振動センサで検出される振動に基づいて、その振動を打ち消す駆動信号を前記ピエゾアクチュエータに出力する制御装置を設けたアクティブ除振装置であって、前記ピエゾアクチュエータそれぞれを、積層形ピエゾ素子の駆動方向の両端面の少なくとも一方に、剛性の板材と肉厚の小さい薄肉弾性体とから成る剪断力吸収部材を三層以上介装したことを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 ,  G05D 19/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-246382
  
• 特開平3-219141