特許

J-GLOBAL ID：200903069791569422

真空紫外光用の光学部品

発明者： 福田 承生 ,  島村 清史 ,  宮澤 良和
出願人/特許権者： 株式会社オプトロン ,  キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015485
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216459
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 潮解性、へき開性がなく加工が容易であり、しかも高耐久な真空紫外光用の光学部品を作る。【解決手段】 LiCaAlF6又はLiSrAlF6からなる結晶で真空紫外光用の光学部品を作る。

請求項（抜粋）：

LiCaAlF6又はLiSrAlF6からなる結晶を母材とする真空紫外光用の光学部品。

IPC (6件)：

H01S 3/034 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/225

FI (6件)：

H01S 3/03 G ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01S 3/223 E

Fターム (20件)：

2H097BA02 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  4G077AA02 ,  4G077AB04 ,  4G077BE02 ,  4G077GA06 ,  4G077HA01 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046DA01 ,  5F071AA06 ,  5F071FF07 ,  5F071JJ03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 分散補正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-061113   出願人：日本電信電話株式会社