特許
J-GLOBAL ID：200903069794958551
高出力紫外線レーザー光発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105682
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292638
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 高出力化に伴う波長変換素子の非線形光学結晶の変質に伴う特性低下を回避し、長寿命化をはかる。【解決手段】 入射レーザー光光源部1と、この光源部1からのレーザー光が入射され、波長変換によって紫外線を導出する非線形光学結晶よりなる波長変換素子4とを有してなり、その波長変換素子4は、その非線形光学結晶の少なくとも紫外線を導出する出力側端面4oに、潮解性のない保護膜5が被着されてなる構成とする。
請求項（抜粋）：
入射レーザー光光源部と、該光源部からのレーザー光が入射され、波長変換によって紫外線を導出する非線形光学結晶よりなる波長変換素子とを有し、該波長変換素子は、その非線形光学結晶の、少なくとも上記紫外線を導出する出力側端面に、潮解性のない保護膜が被着されてなることを特徴とする高出力紫外線レーザー光発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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