特許

J-GLOBAL ID：200903069800553704

偏光ビームスプリッター

発明者： 大谷 実 ,  石倉 淳理
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037938
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225316
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 レーザ耐力が高くすぐれた光学特性を有する偏光ビームスプリッターを実現する。【構成】 BK7ガラス製の基板10の表面に、それぞれ5層ずつ交互に積層されたMgF2 の低屈折率層21a〜25aとZrO2 の高屈折率層21b〜25bからなる入射角82.5度の偏光膜20を設ける。各層21a〜25a,21b〜25bの光学膜厚は斜入射であるためにλ/4(266nm)より屈折角分だけ厚くなったλ/4等価光学膜厚である。偏光膜20は、前記入射角でこれに入射するレーザ光(波長λ=1064nm)のS成分の反射率、P成分の透過率とともに99.8%以上であり、消光比も100以上である。また、高屈折率層がZrO2 であるために吸収が少なく、レーザ耐力が高い。

請求項（抜粋）：

SiO2 またはMgF2 からなる低屈折率層と、ZrO2 またはAl2 O3 からなる高屈折率層を交互に複数層ずつ積層した交互多層膜を有し、該交互多層膜に入射する光の入射角が75度ないし85度の範囲内であるように構成されていることを特徴とする偏光ビームスプリッター。