特許
J-GLOBAL ID：200903069805980988
スタンパの製造方法およびスタンパ裏面研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170523
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029223
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 スタンパの裏面をより精度よく平滑に研磨する。【構成】 回転テーブル6には、スタンパ4がガラス原盤5に密着した状態で載置される。スタンパ4の裏面に対向して、スタンパ4の大きさよりも小さい研磨ヘッド2が設けられている。研磨ヘッド2には、研磨布1が貼り付けられている。研磨時には、スタンパ4と研磨布1との間に研磨液を供給しながら、研磨ヘッド2を回転させ、x方向への往復移動を行なう。このとき、圧力検出手段13により研磨ヘッド2に加わる圧力を検出し、制御手段14を介して、この圧力が一定になるようにz方向送り機構10を駆動させる。
請求項（抜粋）：
記録すべき情報に対応した凹凸パターンが形成された原盤の表面に、導電膜および電鋳膜を順次積層することで、前記導電膜および電鋳膜で構成され前記電鋳膜を裏面とするスタンパを形成し、前記スタンパの裏面を研磨した後に、前記原盤と前記導電膜との界面で引き剥がすことで、光記録媒体形成用のスタンパを得る、スタンパの製造方法において、前記スタンパの裏面の研磨時に、前記スタンパの裏面の大きさに比較して小さく、かつ、前記スタンパの裏面と対向する面に研磨布が固定された研磨ヘッドを用い、前記研磨ヘッドを、回転させつつ前記スタンパの裏面の形状に沿って前記スタンパの径方向に往復移動させながら、前記研磨布と前記スタンパの裏面との間に研磨液を供給して、前記スタンパの裏面を研磨することを特徴とするスタンパの製造方法。
IPC (2件)：
G11B 7/26 511
, B24B 37/04
