特許

J-GLOBAL ID：200903069807928428

非晶質の感放射線性化合物及びそれを用いてなる感放射線性樹脂組成物

発明者： 桑名 耕治 ,  富岡 淳 ,  中西 弘俊 ,  加藤 三典
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-278476
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130663
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 感放射線性樹脂組成物中の非溶解粒子数が少ない感放射線性化合物、並びに、製造直後及び長期保存後の非溶解粒子数が少なく、集積回路作製時の歩留りが良好な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 Cu のKα線をX線源とする粉末X線回折において、2θ値で5°〜35°の範囲に少なくとも1つの極大値を含む非晶質ハロー図形を有することを特徴とする非晶質の感放射線性化合物、及びそれを用いてなる感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

Cu のKα線をX線源とする粉末X線回折において、2θ値で5°〜35°の範囲に少なくとも1つの極大値を含む非晶質ハロー図形を有することを特徴とする非晶質の感放射線性化合物。

IPC (4件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027