特許
J-GLOBAL ID：200903069812304807
プリント基板のエッチファクタ計測方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107285
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302822
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 プリント基板のエッチファクタ計測に当たって配線端を迅速かつ正確に計測してフィードバック制御を可能とする計測方法及び装置を得る。【構成】 プリント基板20の配線20aの端を落射照明と透過照明とでとらえ、この照明による画素からスロープ幅を求める画像処理を行なうようにしたものである。
請求項（抜粋）：
プリント基板の配線端に落射照明と透過照明とをあて、この照明画像を二重焦点顕微鏡にてとらえ、上記落射照明による画像と透過照明による画像とを画像処理することにより上記配線端のスロープ幅を得ることを特徴とするプリント基板のエッチファクタ計測方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/02
, H05K 3/06
