特許

J-GLOBAL ID：200903069822367238

ウエハ取出装置

発明者： 大塚 昌久
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-105409
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299417
出願日： 2001年04月04日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 ウエハに緩衝シートが密着して取出時に付随しても、緩衝シートをウエハから分離することのできるウエハ取出装置を提供すること。【解決手段】 緩衝シートSを介在した状態でウエハWを収納するケース11と、このケース11の上部開放部11AからウエハW及び緩衝シートSを順次取り出す移載アーム13と、ウエハWに緩衝シートSが付随したときの当該緩衝シートSを分離する吹付手段14とを備えてウエハ取出装置10が構成されている。吹付手段14は複数のノズル30を含み、これらのノズル30から吹き出される気体の向きはケース11の略接線方向に沿う方向とされ、最上位のウエハWと次のウエハWとの間の空間内で略渦巻流若しくは略螺旋流を形成するようになっている。

請求項（抜粋）：

緩衝シートを介在した状態で積層状にウエハが収納されるウエハのケースと、前記ウエハ及び緩衝シートを前記ケースの上部開放部から順次取り出す移載アームと、取り出されるウエハに前記緩衝シートが付随したときの当該緩衝シートを前記ウエハから分離するための吹付手段とを備えたウエハ取出装置において、前記吹付手段は、前記取り出されるウエハの面と次のウエハの面との間で前記ケース内に気体を吹き出す複数のノズルを含み、前記複数のノズルから吹き出される気体の流れを前記ケースの内周に略沿わせる略渦巻流若しくは略螺旋流とすることによって、前記ウエハに前記緩衝シートが付随したときの前記緩衝シートを分離可能としたことを特徴とするウエハ取出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/07 ,  B65G 59/04

FI (4件)：

H01L 21/68 B ,  B65G 1/00 543 F ,  B65G 49/07 G ,  B65G 59/04

Fターム (13件)：

3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK10 ,  3F030AA02 ,  3F030BC00 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA30 ,  5F031GA24